ИК фурье - спектрометр ФСМ 1201 П представляет собой специализированный тестер полупро водниковых пластин на основе универсального фурье - спектрометра ФСМ 1201. Он снабжен двух - координатным измерительным столом и позволяет в автоматическом режиме измерять параметры кремниевых пластин в заданных оператором точках для пластин диаметром до 200 мм. ИК фурье - спектрометрия является эффективным инструментом неразрушающего контроля полупроводниковых пластин и структур, что закреплено международно признанными стандартами ASTM F 1188 и F 1391.
