Представляет собой специализированный автоматизированный измерительный комплекс на основе универсального фурье-спектрометра ФСМ 1201. Снабжен двухкоординатным измерительным столом и позволяет в автоматическом режиме измерять параметры кремниевых пластин в заданных оператором точках для пластин диаметром до 200 мм.
ИК фурье-спектрометрия является эффективным инструментом неразрушающего контроля полупроводниковых пластин и структур, что закреплено стандартами ASTM F1188 и F1391, опреде-ляющими методы измерения концентрации междуузельного кислорода и углерода замещения в кремнии, ASTM F95.
